1968年ヨーロッパの熱化学成長ウェハ装置の生産を始めて以来、ASMインターナショナルはフロントエンド(FEOL)、バックエンド (BEOL)プロセスにおける半導体製造装置のリーディングカンパニーとして成長してきました。昨今、ASMは半導体製造装置メーカーの世界トップ15社 に位置づけられています。我々の顧客は、主要半導体製造工場に限らず、世界中に広がっています。

1968年後以降、ASMの製品ライ ンナップは、FEOL、BEOLビジネスにおける現在、そして未来の次世代テクノロジーの資本となるため、緻密な開発を行ってきました。テクノロジーの先 駆者としてASMは半導体業界、先端プロセスや顧客のロードマップに戦略的に提携しています。近年、ASMは300mmウェハプロセスに特化した製造ライ ンにおいて、FEOLでは65nm-node以下のデバイスまで対応を可能にし、FEOLのトランジスターフォーメーション、BEOLのインターコネクト テクノロジーまで多岐にわたるポートフォリオを完成しました。

真のグローバルカンパニーとして、ASMの企業活動はヨーロッパ、アメリカ、日本、香港、中国、シンガポール、マレーシアに拠点をもち、高い技術力、最先端の生産工場、有能で適格な人材、高いトレーニングと戦略を有する企業として存在し続けます。

グローバルカンパニーとして

1968年－ASMヨーロッパASM ヨーロッパはASMインターナショナルが創立された１９６８年に設立され、最先端の熱拡散装置製造販売メーカーとしてスタートしました。我々のデュアルリ アクター縦型拡散炉Advance®400シリーズは世界トップ3のシェアを誇り、画期的なRTP装置Levitor®はRTPマーケットの牽引役として 位置づけられています。

1975年－ASMパシフィックテクノロジーLtd　ASMインターナ ショナルはアッセンブリーとパッケージング技術の拠点として、ASMパシフィックテクノロジー(ASMPT)を創設しました。現在、ASMPTは世界最大 のアッセンブリー、パッケージング工程の企業となり、BEOL企業として唯一高収益を記録しています。ASMPTの技術開発、生産工場は香港、シンガポー ル、中国、マレーシアにあります。更に詳細の内容が必要な方はwww.asmpacific.com.をご覧ください。

1976年－ASMアメリカ　ASM はアメリカを拠点にしたウェハープロセス拠点、ASMアメリカを設立しました。1983年には世界初となる枚葉式エピタキシャル装置を開発しました。現在 Epsilon®は、シリコンゲルマニウムエピタキシャル装置導入台数第1位として世界各国で利用されています。また、ASMのエピ装置は、90nm量産 向けひずみシリコンウェハーの製造も可能です。

1981年－ASMIナスダック　ASMインターナショナルは一般公開株としてアメリカのナスダック市場に株式上場いたしました

1982年－日本ASM　フ ロントエンドオペレーションの拡大を目的として日本ASMを設立し、プラズマCVD装置(PECVD) の設計、製造管理の拠点としました。現在、日本ASMの事業はEagle®、Dragon®のPECVDプラットフォームや低誘電率絶縁膜Aurora® low-kの開発、ALCVD装置の開発、薄膜メタル層形成の研究に取り組んでいます。

1989年－ASMPT香港Exchange　ASMパシフィックテクノロジーは一般企業として、1989年に全株の25％を一般公開株として香港市場に上場しました。現在、46％のASMPT株は香港市場にて取引され、54％はASMインターナショナルが保有しています

1996年－ASMユーロネクスト　ASMインターナショナルは一般公開株をアムステルダムの証券取引所（現在のユーロネクスト）に上場しました。

1999年－ASMマイクロケミストリー　ASM は原子層成膜技術のパイオニアであるフィンランドのマイクロケミストリーを獲得しました。ASMは原子層CVD装置(ALCVDTM)を半導体企業にリ リースし、先端技術として微細化するデバイスデザインの可能性を広げています。また、ＡＬＤ装置の製造、技術をＡＳＭアメリカへ移転すると同時に原子層成 膜で世界屈指の研究機関であるヘルシンキ大学で最先端のＲ＆Ｄ開発を行っております。

2002 - ASM Pacific Technology. 2002年にASMPTは世界屈指のBEOL装置のサプライヤーとなりました。

2004年－シンガポール　コ スト削減とフレキシビリティを求められるFEOL装置製造ラインの合理化を目的とし、まずASMファーネス装置のアッセンブリー製造工場をシンガポールに 設立しました。シンガポール工場はBEOLのシンガポール拠点と隣接しており、FEOLだけでなく、ASMプロダクトラインのサブシステムを生産していま す。

2004年－技術獲得 2004年韓国のGenitech社を獲得しました。Genitech社は画期的なプラズマＡＬＤ技術と、原子制御のCu成膜装置、Cu Superfill CVD™）を持ち、今後の韓国市場への参入に大きく期待されています。

2005年－ライセンスプログラム　ASMインターナショナルのIPポートフォリオは多大な利益をもたらします。2005年、ASMは急速に世界で発展する非競合領域企業への、技術ライセンス契約の戦略的プログラムを開始しました

2005 – ASM パシフィクテクノロジー ASMPTはダイボンディング装置の世界TOP1サプライヤーになりました。

2006－知的財産 2006年ASMIは雑誌IEEE Spectrumにおいて、世界有効特許保有企業TOP10の一社としてランクインしました。