製品ライン

最先端テクノロジー

ASM は、ALD の可能性をほとんど誰も信じていなかったときに、その可能性を確認しました。 長年にわたる R&D で ALD を開発した ASM は、現在では、半導体業界向けの ALD 装置とプロセス ソリューションで世界をリードするサプライヤーとなりました。 ASM の PEALD テクノロジーでは、優れたコンフォーマリティ、膜厚制御、ウェハー面内の加工均一性などの ALD の主な特長をそのままに、低温での処理が可能です。

ASM のイノベーションは、お客様が 2 ～ 4 年を達成の目途としている目標を達成するお手伝いをしています。 世界一流、業界をリードするパフォーマンスです。

Stephen（ASM プラズマ製品マネージャー）

プラズマ製品ライン ロードマップ

舞台はお客様がセットしてくれます。 その後、お客様からのリクエストにより、ASM がそのニーズを満たす革新的な方法を探すことになります。 このため、プラズマ製品ラインには、ASM の総合的なテクノロジー ロードマップに足並みを揃えた詳細で具体的なテクノロジー ロードマップが用意されています。 製品ラインのロードマップは、継続的かつ直接関係するお客様の将来的なニーズを情報源として作成されており、ASM が時間的な余裕をもってソリューションを積極的に開発するために役立っています。

R&D から製品へ

プラズマ製品ラインでは、フィンランドのヘルシンキにある ASM の R&D 施設で研究されている新機能や新しい化学プロセスに対する理解と影響を深めるために、定期的に問い合わせを行っています。 プラズマ製品ラインでは、新しいプロセスを使用した製品の作成を開始する時期が来るまで、つまり、R&D　で研究開発を行ってきたイノベーションの「製品化」を開始できる時期がくるまで、R&D　活動の進捗状況をモニターし続けます。

ASM のプラズマ製品

ASM のプラズマ製品ラインは、日本の東京と韓国のソウルを拠点としています。

この部門では、DragonR XP8 のような PECVD 製品と 画期的な EagleR XP8 および MIR3000 のような PEALD 製品を開発しています。 いずれの製品タイプも、生産性、品質、信頼性の高さで知られています。 XP8 は、品質とスループットにおいて業界の新しいリーダーと言える製品です。

MIR3000 および XP8 製品ラインの発売と普及によって、お客様に革新的な機能と生産性の向上をお届けすることに成功するとともに、プラズマ関係用途の市場占有率を大幅に押し上げることにも成功しました。

毎日が新たな挑戦との出会い。 これが、プラズマ製品ラインの社員を奮い立たせる要因です。 お客様に最新鋭の製品がもたらすメリットを届けるための努力をする覚悟がありますか？

最先端の ALD テクノロジー

ASM は、ALD の可能性をほとんど誰も信じていなかったときに、その可能性を確認しました。 長年にわたる R&D で ALD を開発した ASM は、現在では、半導体業界向けの ALD 装置とプロセス ソリューションで世界をリードするサプライヤーとなりました。 ASM の装置は、20nm デバイスの量産工場を含む、世界中の最先端の工場で稼働しています。

イノベーションが、ASM の DNA といっても過言ではありません。 ASM では、イノベーションがなければ夜も日も明けません。 ASM にとって、イノベーションとはただの言葉ではなく、生き方そのものなのです。

Tanja（シニア製品ディレクター）

熱加工製品ラインのロードマップ

ASM にとって、高速、世界初、最良を達成するために役立つ開発の枠組みは欠かせません。 熱加工の各製品ラインには、この部門の将来のテクノロジー開発を説明する独自のテクノロジー ロードマップがあります。 熱加工の各製品ラインでは、お客様に直接、継続的に関与することでロードマップを作成しています。 突き詰めて言えば、このようなお客様がその製品の成功を左右するエンド ユーザーとなるため、お客様の意見の聞き取りが真剣に行われているのです。

R&D から製品へ

熱加工製品ラインは、フィンランドのヘルシンキにある ASM の R&D 施設で研究されている新機能や新しい化学プロセスに対する理解を深めるために、緊密に協同しています。 この部門では、新しいプロセスを使用した製品の作成を開始する時期が来るまで、つまり、R&D　で研究開発を行ってきたイノベーションの「製品化」を開始できる時期がくるまで、R&D　での活動の進捗状況をモニターし続けます。

高速なイノベーション

ASM のお客様がイノベーションを必要とする速度は、前例がないほど加速しています。 つまり、ASM は、イノベーションを素早く行うために、高い柔軟性と対応力を持つ必要があります。 それと同時に、お客様は最先端テクノロジーと高い生産性の両方を求めているため、イノベーションだけでは十分とはいえません。 お客様の工場に常駐し、サービス、メインテナンス、トレーニングを行うことで、包括的なビジネス ソリューションをお届けしています。

ASM の製品ラインのロケーション

ASM の熱加工製品ビジネス ユニットは、 米国アリゾナ州フェニックス、オランダのアルメル、ベルギーのルーヴェンの 3 か所にあります。

フェニックスでは、PulsarR XP ALD や EmerALDR XP ALD などの ALD 製品と最新の Intrepid? XP のようなエピタキシー製品に主眼が置かれています。 アルメルでは、酸化、焼きなまし、養生、ALD、LPCVD 用のさまざまな高生産性のバッチ処理ソリューションを提供する AdvanceR シリーズの垂直炉を含むCVD/拡散製品ラインに焦点が絞られています。 すべての製品に対するプロセス統合開発は、ベルギーにあります。

毎日が新たな挑戦と機会との出会いです。 これが、熱加工製品ラインの社員を奮い立たせています。 お客様に最新鋭の製品がもたらすメリットをお届けるするために必要な資質をお持ちですか？