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未来を形作る

ASM には、世界中のさまざまな国や文化圏を出身地とする社員がいます。ただし、全員が共有しているのが、現在ある限界を乗り越えて未来を形作る機会を手にするための知性、柔軟性、情熱です。

最先端のテクノロジー

ASM は、1968 年、半導体産業の産声とともに設立されました。設立以来、画期的なイノベーションの数々を通じて半導体産業の形成に貢献してきました。また、これらのイノベーションの多くは、半導体製造業界の標準ともなってきました。 ASM の取り扱う製品は微細ですが、結果として与える影響は計り知れません。原子と原子をつなぐことで、世界をつなぐ。これが ASM の仕事です。

難問がもたらす大きな満足感

「問題が難しければ難しいほど、解決したときの満足感が大きくなります。」秀美さんと寿さんが、自分の仕事におけるイノベーションについて話します。
秀美（アシスタントプロセスエンジニア）寿（ソフトウェアエンジニア）

グローバルな R&D

の興味は尽きるところを知りません。そして、成功が約束される新しいテクノロジーは、R&D での取り組みから大量生産へと導く過程に多くの年月がかかることがしばしばあります。 ASM の成功は、エンジニアリングリサーチへの傾倒に負っています。

ASM には、業界でもっとも幅広くもっとも多様な ALD 開発を行っている組織があります。そして、基本的な化学構造の開発からお客様の製造工場への導入に至るまで、そのライフサイクルのすべての段階で積極的な取り組みを行っています。

ASM のフィンランド、米国、日本、韓国、オランダ、ベルギーにあるリサーチセンターでは、ALD に関する研究開発が行われています。また、ASM は、第三者機関としてはヨーロッパ最大の研究機関である IMEC との共同研究も行っています。これらの取り組みのすべてが、ALD をマイクロエレクトロニクスの将来的な成長を促す主要な原動力の 1 つとするために役立っています。

お客様に初期段階から関与する

ASM では、研究機関との関係だけでなく、お客様とも共同研究や開発プロジェクトでの共同作業を通じて非常に緊密な連携を維持しています。お客様との共同作業は、ASM のテクノロジーロードマップの説明から始まり、新しいテクノロジーやプロセスのお客様の工場の量産ラインへの導入まで続きます。この作業の途中では、研究段階から製造へのスムーズな移行を行うために、ASM の R&D チームがお客様の R&D チームに統合されます。この統合チームでは、特定のテクノロジーのために数年間に及ぶ緊密な共同作業が行われる場合もあります。

このような方法を採用することで、お客様の製造現場のニーズを的確に満たすために必要とされる動作を ASM のプロセス装置が実現することを確実に達成できます。

ALD ? 未来の成長の鍵を握るプラットフォーム

ASM のエンジニアは、ALD を使用することで、ウェーハ上に原子数個の厚さの新しい素材を低温堆積し、比類ない質と均一性を持つ超薄膜を作ることができるようになりました。 ALD は、現在では、ASM でのさまざまな新素材の開発のための基礎プラットフォームとなっています。 ASM の ALD テクノロジーは、高性能なコンピューターやワイヤレスのハンドヘルド型スマートデバイスなどのような、さまざまな最先端製品に応用されています。

プラズマ ALD（PEALD）は、ASM のもう 1 つの主要なイノベーションです。堆積可能な素材のスペクトルを広げ、室温程度の温度で素材を堆積するその機能によって、フォトレジストなどの温度感受性の高い基板上でのプロセスが可能になりました。